光阻塗佈機

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Page 4. ii. Testing the localized production of slit nozzles for LCD.LabSpin Series Spin Coater & Developer - SUSS MicroTecLabSpin 光阻塗佈機可處理各式各樣的基材，從尺寸在150/200mm 以下的晶圓或100x100mm 或150x150mm 的方形晶片，且由於體積尺寸小，因此僅需要使用最小的空間。

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