Endura® Volta™ CVD Cobalt | Applied Materials
文章推薦指數： 80 %
Volta CVD Cobalt 系統為擴展銅導線技術推出新材料，將這項製程帶入新時代。
它通過改善銅浸潤來促進銅晶種層覆蓋，並能夠形成便於修復不連續形貌和形成堅固 ...
應用材料公司的 Endura® Volta™ CVD Cobalt 系統使公司能夠在CVD 領域保持技術領先地位，在超過 15 年的銅阻擋層/晶種層 (CuBS) 開發中首次改變材料，以實現持續的高效能互連微縮。
這種史無前例的技術可以沉積厚度不足 20Å 的晶種增強型襯層和選擇性覆蓋層，從而改善 2Xnm 及以下節點的互連線良率與可靠性。
<
延伸文章資訊
- 1Endura® Volta™ CVD Cobalt | Applied Materials
Volta CVD Cobalt 系統為擴展銅導線技術推出新材料，將這項製程帶入新時代。它通過改善銅浸潤來促進銅晶種層覆蓋，並能夠形成便於修復不連續形貌和形成堅固 ...
- 2Cobalt - Wikipedia
Cobalt is a chemical element with the symbol Co and atomic number 27. Like nickel, cobalt is foun...
- 3Cobalt - 鈷 - 國家教育研究院雙語詞彙
- 4cobalt | Uses, Properties, & Facts | Britannica
Cobalt, metallic chemical element, one of the transition elements, atomic number 27. The metal is...
- 5Cobalt - Element information, properties and uses | Periodic ...
Cobalt is the metal at the centre of vitamin B12 which helps regulate cell development and theref...
