液態材料的缺陷,如何用SEM檢測? - iST宜特

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往往我們可以檢測的大多是固態樣品,但若遇到欲檢測的物品是液態,或者懷疑Defect來自於製程中的液態物質該如何分析呢?針對一般的樣品, ... 首頁 液態材料的缺陷,如何用SEM檢測?首頁 液態材料的缺陷,如何用SEM檢測?發佈日期:2019/3/5 發佈單位:iST宜特在半導體多道製程中,包括晶圓生產-黃光蝕刻、薄膜等製程中,或是其他太陽能、LED晶片等電子產品的製造過程中,都有機會使用到液體/揮發性材料,包括銀膠、研磨液、拋光液、油墨等,而有時候造成缺陷的問題,就藏在這些液體/揮發性材料裡頭。

針對一般的樣品,以往我們會使用掃



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