知道什麼是光刻機么?光刻機霸主是誰?為什麼不是 ... - 天天要聞
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一網打盡全網最新資訊最熱頭條新聞,刷資訊刷頭條盡在光刻機是生產大規模集成電路的核心設備,其製造和維護均需要先進和強大的光學及電子工業基礎,世界上只有少數廠家掌握這種基礎。
ASML光刻機光刻機是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。
可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;以及利用類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。
光刻機是生產大規模集成電路的核心設備,其製造和維護均需要先進和強大的光學及電子工業基礎,世界上只有