光罩對準機Mask Aligner - 國立中山大學光電工程學系
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光罩對準機MaskAligner 儀器名稱：光罩對準機MaskAligner 用途：光罩對準、曝光 廠牌與型號：OAI(J500) 重要規格： (1)光罩的最大尺寸:7”x7” (2)光罩鉗制的方式:真空式與機械夾持式 (3)光罩提升方式:氣動式 (4)光罩可轉動的角度:+/-15° (5)光罩與晶片載具相對水平:可調整式 (6)晶片真空吸持: 吸持面積≧3” (7)移動方向、範圍與最小移動距離 X-Y方向：+/-6.5mm；≦0.25ｍ Z方向：+/-2.5
